RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 7, страницы 1174–1181 (Mi jtf6820)

XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Фотоника

Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного экстремального ультрафиолетового источника

А. Я. Лопатинa, А. Н. Нечайa, А. А. Перекаловa, А. Е. Пестовa, А. А. Соловьевb, Н. Н. Цыбинa, Н. И. Чхалоa, Д. С. Дмитриевa

a Институт физики микроструктур РАН, 7607680 Нижний Новгород, Россия
b Институт прикладной физики РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Предложен новый конструктивный вариант лазерной мишени в виде контейнера с тонкопленочной стенкой, содержащего находящийся под значительным давлением газ. Предполагается (и это предположение будет проверяться экспериментально), что в спектре экстремального ультрафиолетового излучения лазерно-плазменного источника с такой мишенью при определенном сочетании конструктивных параметров будут преобладать линии, характерные для заключенного в объеме мишени газа. Разработана и изготовлена необходимая экспериментальная оснастка, в том числе и комплект идентичных мишеней с пленочной стенкой Mo/ZrSi$_2$ толщиной 0.19 $\mu$m. Экспериментально продемонстрировано, что образцы из изготовленного комплекта выдерживают давление не менее 1.5 atm.

Ключевые слова: мягкое рентгеновское и экстремальное ультрафиолетовое излучения, тонкие пленки, лазерная плазма, газовая мишень.

Поступила в редакцию: 14.05.2024
Исправленный вариант: 14.05.2024
Принята в печать: 14.05.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.07.58354.170-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025