Исследование структурных и отражательных характеристик короткопериодных Mo/Be многослойных рентгеновских зеркал

Методами рентгеновской рефлектометрии, диффузного рассеяния рентгеновского излучения и интерферометрии исследована серия короткопериодных многослойных зеркал (МЗ) Mo/Be. Показано, что структура МЗ (наличие дифракционных порядков на угловой зависимости коэффициента отражения) наблюдается, по крайней мере, до величины периода 1.29 nm. Также при приближении к экстремально малым величинам периодов, начиная с 1.64 nm, наблюдается резкий рост ширины переходной области между слоями зеркала.