Корреляционная экстремальная ультрафиолетовая, ультрафиолетовая и оптическая микроскопия на базе зеркального микроскопа с аксиальной томографией

Рассмотрено применение зеркального экстремального ультрафиолетового микроскопа с 46-кратным разрешением до 140 nm для исследования образцов на трех длинах волн: 13.84, 200 и 535 nm. Возможность видеть одну область образца на разных длинах волн дает дополнительную информацию о его структуре. Выбор длины волны происходит за счет смены источников: светодиод или газовый лазерно-плазменный источник, а также ввода-вывода многослойного фильтра, отсекающего все, кроме 13.84 nm. Для трехмерной реконструкции проведено сканирование образца вдоль оптической оси на пьезоактуаторе. При реконструкции изображений по томографическим данным использована функция рассеяния точки, смоделированной на основе измеренных на интерферометре аберраций.