Метод определения частотных зависимостей коэффициентов затухания и связи оптического микрокольцевого резонатора с прямым волноводом

Предложен оригинальный метод определения параметров базовых компонентов фотонных интегральных схем в широком диапазоне частот. Метод позволяет по измеренным передаточным характеристикам микрокольцевого резонатора, используемого в качестве тестового элемента, находить частотные зависимости коэффициента связи микрокольцевого резонатора с прямым волноводом, а также коэффициента затухания, группового показателя преломления и дисперсионного коэффициента прямоугольных оптических волноводов, из которых изготовлена фотонная интегральная схема. Показана эффективность использования метода для определения перечисленных параметров фотонных интегральных схем, изготовленных по технологии “кремний на изоляторе”, в диапазоне частот 184–197 THz (что соответствует диапазону длин волн 1520–1630 nm). Расчет передаточных характеристик фотонных интегральных схем с использованием найденных параметров волноводов показал хорошее соответствие экспериментально измеренным характеристикам.