Расчет коэффициента распыления твердотельных мишеней при бомбардировке легкими атомами

Предложена методика расчета коэффициента распыления мишеней при бомбардировке легкими атомами. Показано, что учет энергетического спектра отраженных частиц позволяет адекватно описать поведение коэффициента распыления вблизи порога. При больших энергиях коэффициент отражения частиц сильно уменьшается и добавляется каскадный механизм распыления, предложенный Зигмундом. Учет вклада обоих механизмов позволил достичь количественного описания зависимости коэффициента распыления в широком диапазоне энергий налетающих частиц.