RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 11, страницы 1922–1934 (Mi jtf6908)

Физическая электроника

Влияние материала подложки на структуру, топологию, состав, оптические и механические свойства химически осажденных пленок PbS

Л. Н. Маскаеваab, А. В. Поздинa, В. Ф. Марковab, Е. В. Мостовщиковаc, В. И. Воронинc, П. Н. Мушниковd, А. Ю. Павловаc

a Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, 620002 Екатеринбург, Россия
b Уральский институт государственной противопожарной службы МЧС России, 620062 Екатеринбург, Россия
c Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН, 620108 Екатеринбург, Россия
d Институт высокотемпературной электрохимии УрО РАН, 620066 Екатеринбург, Россия

Аннотация: Представлены результаты комплексных исследований методами рентгеновской дифракции, электронной и атомно-силовой микроскопии влияния материала подложки на структуру, состав, топологию и оптические свойства химически осажденных пленок сульфида свинца с оценкой механических напряжений, возникающих в объеме слоя и на границе “пленка-подложка”. Установлено, что формирование пленок на подложках из плавленого кварца и синтетического сапфира происходит из кристаллитов с преимущественной кристаллографической ориентацией (111), а на подложках из фотостекла и предметного стекла – из кристаллитов как с ориентацией (111), так и (220). Обсуждено влияние предварительного травления подложек в HF на топологию поверхности и особенности зародышеобразования пленок PbS. Сделан вывод о том, что рельеф поверхности пленок сульфида свинца не повторяет рельеф подложек. С использованием фрактального формализма показано, что формирование пленок PbS на всех исследуемых подложках описывается моделью ассоциации частиц по типу кластер-частица в трехмерном пространстве. Выявлена корреляция между количеством наночастиц в слое PbS и шириной запрещенной зоны материала. Установлено увеличение величины сжимающих напряжений на интерфейсе “пленка-подложка” в пределах от -53.9 до -318.6 kN/m$^2$ в ряду предметное стекло-фотостекло-сапфир-кварц.

Ключевые слова: химическое осаждение, тонкие пленки, сульфид свинца, материал подложки, морфология, кристаллическая структура, механические напряжения.

Поступила в редакцию: 17.02.2024
Исправленный вариант: 12.09.2024
Принята в печать: 12.09.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.11.59110.39-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025