Синтез массивов наноструктурированных пористых кремниевых стержней в кремнии электронного типа электропроводности с кристаллографической ориентацией (111)

Предложен метод модифицированного металл-стимулированного электрохимического травления и получены массивы наноструктурированных пористых кремниевых стержней на подложке монокристаллического кремния $n$-типа с кристаллографической ориентацией (111). Выявлено влияние состава электролита на втором этапе получения на морфологию стержней кремния методами сканирующей электронной микроскопии. Фазовый состав стержней пористого кремния контролировался методами рамановской спектроскопии.