RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2023, том 93, выпуск 6, страницы 794–803 (Mi jtf7009)

Физическое материаловедение

Исследование микроструктуры и свойств поликристаллических алмазных покрытий, синтезированных методом HFCVD при высоких концентрациях метана

А. С. Митулинский, А. В. Гайдайчук, С. П. Зенкин, В. А. Булах, С. А. Линник

Национальный исследовательский Томский политехнический университет, 634050, Томск, Россия

Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований зависимости структуры и механических свойств алмазных пленок, выращенных методом HFCVD в атмосфере H$_2$/CH$_4$, от варьирования концентрации метана (в пределах от 5.6 до 19.3 vol.%). Для пленок, синтезированных при 5.6 vol.% CH4 в газовой фазе, характерна столбчатая микрокристаллическая структура. В микроструктуре пленок, выращенных при высоких содержаниях метана (12.2–19.3 vol.%), наблюдаются как отдельные алмазные кристаллы, так и дендритные кластеры, при этом рассчитанные значения размеров кристаллов таких пленок составляют $\sim$5 nm. В зависимости от параметров осаждения твердость и модуль упругости изменялись в пределах от 50.4 и 520 GPa до 95.15 и 974.5 GPa соответственно. При увеличении концентрации CH4 происходит увеличение растягивающих остаточных напряжений. Показана зависимость напряжений от изменения толщины пленки. Морфология поверхности микрокристаллических покрытий значительно отличается от ультрананокристаллических и имеет в среднем на порядок более высокие значения шероховатости поверхности, во всех пленках наблюдается рост шероховатости при увеличении их толщины.

Ключевые слова: тонкие пленки, химическое осаждение из газовой фазы, ультрананокристаллический алмаз.

Поступила в редакцию: 11.01.2023
Исправленный вариант: 10.04.2023
Принята в печать: 12.04.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.06.55604.2-23



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025