Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами

На основе ранее апробированной модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней легкими ионами предложен метод расчета компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при стационарном (стехиометричном) распылении легкими ионами. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными и результатами компьютерного моделирования. Предложенный метод, основанный на модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней, позволил провести оценку толщины измененного поверхностного слоя. Предлагаемая методика расчета позволила разработать технологию создания поверхностей карбида титана с заданным соотношением компонентов.