Использование сканирующей зондовой литографии для формирования планарных микрочастиц с конфигурационной анизотропией

Представлены экспериментальные результаты формирования полимерных масок для создания планарных микрочастиц заданной формы методами сканирующей зондовой литографии. Рассмотрены проблемы, связанные с нелинейностью перемещения зонда во время процесса формирования маски. Продемонстрирована возможность увеличения времени жизни зонда за счет изменения процедуры формирования маски и (или) изменения температуры образца. Улучшение качества получаемой маски достигнуто за счет использования химического травления.