Исследование влияния температуры роста на свойства легированных азотом углеродных нанотрубок для создания устройств нанопьезотроники

Установлены закономерности влияния температуры роста на геометрические параметры, концентрацию легирующей примеси азота и тип формирующихся дефектов в углеродных нанотрубках, выращенных на подслое молибдена. Показано, что наилучшие пьезоэлектрические и резистивные свойства наблюдаются в легированных азотом углеродных нанотрубках, выращенных при температуре 525$^\circ$C. На основе результатов термодинамического анализа показана зависимость концентрации легирующей примеси азота и типа формирующихся дефектов от тенденции образования нитридов и карбидов молибдена в процессе роста нанотрубок. Полученные результаты могут быть использованы при разработке устройств нанопьезотроники на основе массивов вертикально ориентированных нанотрубок – наногенераторов, сенсоров деформации и элементов памяти.