Аннотация:
Исследованы нанофотонные схемы с направленными ответвителями, которые, наряду с фазовращателями, являются одними из основных элементов для создания схем линейного оптического квантового компьютера. Направленные ответвители, представляющие из себя два близко расположенных волновода, были изготовлены из нитрида кремния. Предметом исследования являлся коэффициент деления направленных ответвителей на длине волны 914 nm при комнатной (300 K) и гелиевой (3 K) температурах. На основе экспериментальных данных была извлечена длина связи, при которой вся мощность из одного волновода переходит в другой, и найдены показатели преломления нитрида кремния при комнатной (300 K) и гелиевой (3 K) температурах. Результаты имеют важное значение при проектировании и изготовлении полностью интегральных квантово-оптических микросхем со сверхпроводниковыми детекторами, работающими при гелиевых температурах.
Ключевые слова:
фотонные интегральные схемы, направленный ответвитель, нитрид кремния, квантово-оптические интегральные микросхемы, масштабируемый квантовый компьютер на фотонах.
Поступила в редакцию: 03.05.2023 Исправленный вариант: 03.05.2023 Принята в печать: 03.05.2023