RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2023, том 93, выпуск 7, страницы 1037–1045 (Mi jtf7047)

XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физическая электроника

Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав

Д. В. Петроваab, М. С. Михайленкоa, М. В. Зоринаa, М. Н. Дроздовa, А. Е. Пестовa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Представлены результаты, полученные при нанесении раствора жидкого стекла на подложки оптических элементов, с последующим их травлением ионным пучком. Особое внимание уделено шероховатости поверхности оптического элемента как после нанесения жидкого стекла, так и после травления. Проведены исследования пленки наносимого состава стекла с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии.

Ключевые слова: жидкое стекло, пленки, шероховатости, полировка, ионное травление, вторичная ионная масс-спектрометрия.

Поступила в редакцию: 02.05.2023
Исправленный вариант: 02.05.2023
Принята в печать: 02.05.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55766.107-23



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025