Характеристики емкостного высокочастотного разряда в магнитном поле с преимущественной радиальной составляющей

Представлены результаты экспериментального исследования характеристик высокочастотного (ВЧ) емкостного разряда, помещенного в магнитное поле с преимущественной радиальной составляющей. Эксперименты выполнены в источнике плазмы, имеющем геометрию стационарного плазменного двигателя. Интегральные характеристики разряда, а также аксиальное распределение зондового ионного тока насыщения в канале источника плазмы измерены при трех схемах организации внешней цепи разряда: с разомкнутыми и замкнутыми по постоянному току электродами, а также в комбинации емкостного разряда с разрядом постоянного тока. Основные измерения выполнены в аргоне в диапазоне расходов 0.75–1.8 mg/s и мощностей ВЧ генератора 80–300 W при частотах 2, 4 и 13.56 MHz при индукции магнитного поля, лежащего в диапазоне 100–300 G. Выполнены оценки параметров плазменного двигателя на основе емкостного ВЧ разряда при работе на воздухе, аргоне и криптоне.