Определение энергии активации реакции диспропорционирования аморфной пленки GeO$_x$ на кварцевой подложке с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света

Аморфные нанокластеры германия были сформированы в пленке GeO$_x$ на кварце в результате реакции диспропорционирования GeO$_x\to(1-x/2)$Ge + $x/2$ GeO$_2$ при печных отжигах. Для определения энергии активации реакции отжиги были проведены при температурах от 400 до 500$^\circ$C. Возникновение и рост аморфных нанокластеров германия исследованы методом спектроскопии комбинационного рассеяния света. Показано, что модель локализации фононов применима не только для нанокристаллов германия, но и для аморфных кластеров германия в случае их сверхмалых размеров. Обнаружено, что время насыщения формирования нанокластеров аморфного германия экспоненциально зависит от температуры отжигов. Анализ кинетики формирования нанокластеров проведен в рамках модели Колмогорова–Аврами. Впервые была получена энергия активации реакции диспропорционирования, которая составила 1.0 $\pm$ 0.1 eV.