Кинетика медленных электронов в эксимерном лазере с накачкой электронным пучком

Проведено расчетно-теоретическое исследование функции распределения медленных электронов в пучковой плазме в смесях газов, используемых в эксимерных лазерах. Показано, что форма распределенного источника медленных электронов слабо влияет на среднюю энергию электронов и генерационные характеристики, а наличие фотоионизации и фотоотлипания при определенных условиях приводит к уменьшению средней энергии электронов.