Аннотация:
Описан процесс оптимизации ионно-оптической системы на основе результатов численного моделирования. Основными целями работы являются повышение эффективной прозрачности ионно-оптической системы для ионов и расширение верхней границы диапазона фокусируемых плотностей тока. В качестве способов оптимизации используются изменение формы апертур с круглой на гексагональную, уменьшение ширины перемычек между апертурами и уменьшение ширины межэлектродного зазора. Созданная конфигурация ионно-оптической системы обладает преимуществом перед используемой ранее по всем основным параметрам, за исключением ресурса.