Исследование методом молекулярной динамики обратимой релаксации сжимающих механических напряжений в поликристаллических пленках металлов после остановки их осаждения

Приведены результаты моделирования осаждения поликристаллических пленок металлов методом молекулярной динамики. На примере Cr и Cu исследовано влияние энергии осаждаемых частиц, скорости осаждения, а также материала и температуры пленки на изменение напряжений при остановке и возобновлении осаждения. Результаты моделирования показали, что обратимая релаксация сжимающих напряжений в поликристаллических пленках при остановке осаждения связана с латеральным перемещением атомов, попавших в межзеренные границы с поверхности в ходе осаждения, что привело к более компактному их расположению. Процесс одинаково протекает во всех слоях пленки как после остановки осаждения, так и во время него. Выход атомов из межзеренных границ обратно на поверхность пленки при остановке осаждения не наблюдался.