Архитектоника покрытий из наностержней оксида цинка для адсорбционных газовых сенсоров

Представлена методика формирования наноструктурированных покрытий из наностержней ZnO для применения в адсорбционных газовых сенсорах. Показано, что ультразвуковой спрей-пиролиз обеспечивает получение локальных центров роста для формирования наностержней ZnO методом низкотемпературного гидротермального синтеза. Полученные наностержни ZnO с малым диаметром продемонстрировали высокую концентрацию вакансий кислорода в приповерхностной области и поверхностную концентрацию гидроксильных групп. Предложен дополнительный способ контроля затравочных слоев по сопротивлению с использованием жидкого зонда на основе индий-галлиевого расплава без необходимости нанесения верхних контактов. Представленная методика пригодна для массового производства сенсорных покрытий. Полученные наноструктурированные покрытия из наностержней ZnO демонстрируют высокий газоаналитический отклик.