Исследование поверхности и подповерхностного слоя подложек, полученных из CVD-алмазов после ультратонкой полировки

Представлены результаты исследования поверхностей алмазных подложек, обработанных различными методами полировки. Продемонстрировано, что для получения высококачественной поверхности алмаза перспективным является применение метода магнитореологического полирования. В подтверждение данного вывода приведены результаты исследования шероховатостей поверхностей алмаза методами оптической профилометрии, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской рефлектометрии.