Влияние условий синтеза на структуру и оптические свойства a-C:H-пленок

Представлены результаты исследования аморфных гидрогенизированных углеродных пленок (a-C:H), полученных методом магнетронного распыления. Изучено влияние мощности ионно-плазменного разряда на формирование локальной структуры a-C:H-пленок с использованием метода комбинационного рассеяния света. Показано, как условия синтеза влияют на соотношение $sp^2/sp^3$-связей при формировании структуры a-C:H-пленок и, как следствие, на изменение их оптических свойств. Рассчитаны значения оптической ширины запрещенной зоны для a-C:H, синтезированных при различных значениях мощности разряда. Выявлено, что увеличение мощности ионно-плазменного разряда с 12 до 18 W приводит к снижению значения ширины запрещенной зоны с 1.8 до 1.43 eV.