Физическая электроника
Влияние осаждения атомов Ba и имплантации ионов Ba$^+$ на электронную структуру монокристаллического Ge
Д. А. Ташмухаммедова,
Б. Е. Умирзаков,
Ё. С. Эргашов,
М. Б. Юсупжанова,
Р. М. Ёркулов Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова, 100095 Ташкент, Узбекистан
Аннотация:
Впервые исследовано влияние осаждения атомов Ba с толщиной
$\theta\le$ 3–4 монослоя и имплантации ионов Ba
$^+$ с энергией
$E_0$ = 0.5–2 keV на плотность состояний электронов валентной зоны, параметров энергетических зон, эмиссионных и оптических свойств Ge(111). Показано, что при осаждении атомов Ba с
$\theta$ = 1 монослой значение термоэлектронной работы выхода
$\varphi$ уменьшается на
$\sim$1.9 eV, а значение коэффициента вторичной электронной эмиссии
$\sigma_m$ и квантового выхода фотоэлектронов
$Y$ увеличивается в 1.5–2 раза. В случае имплантации ионов Ba
$^+$ с
$E_0$ = 0.5 keV при дозе облучения
$D$ = 6
$\cdot$10
$^{16}$ cm
$^{-2}$ плотность состояния валентных электронов и параметры энергетических зон резко изменяются; квантовый выход фотоэлектронов увеличивается в 2 и более раз. Наблюдаемые изменения объясняются формированием на поверхности тонкого (
$\sim$25–30
$\mathring{\mathrm{A}}$) аморфного легированного слоя, состоящего из наноразмерных фаз типа Ba–Ge (
$\sim$60–65 at.%) и избыточных (несвязанных) атомов Ba и Ge. При этом происходит уменьшение ширины запрещенной зоны
$E_g$ на
$\sim$0.3 eV.
Ключевые слова:
ионная имплантация, квантовый выход фотоэлектронов, эмиссионная эффективность, прогрев, ширина запрещенной зоны, аморфный слой.
Поступила в редакцию: 05.08.2021
Исправленный вариант: 24.12.2021
Принята в печать: 27.12.2021
DOI:
10.21883/JTF.2022.04.52254.230-21