RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2022, том 92, выпуск 6, страницы 892–898 (Mi jtf7374)

Физическая электроника

Электрические и оптические свойства тонких пленок оксида кобальта, полученных методом ионно-лучевого распыления

К. С. Габриельс, Ю. Е. Калинин, В. А. Макагонов, С. Ю. Панков, А. В. Ситников

Воронежский государственный технический университет, 394026 Воронеж, Россия

Аннотация: Исследованы оптические и электрические свойства тонких пленок оксида кобальта, полученных методом ионно-лучевого распыления в атмосфере аргона и аргона с добавлением кислорода ($P_{\mathrm{Ar}}$ = 1.1$\cdot$10$^{-5}$ Torr). Показано, что для пленок оксида кобальта, полученных в атмосфере аргона, оптическая ширина запрещенной зоны не зависит от толщины пленки и составляет 3.24 eV. Для пленок с добавлением кислорода были обнаружены два прямых оптических перехода с энергиями 1.45 и 2.1 eV. Установлено, что для всех исследованных образцов электрическая проводимость не зависит от напряженности электрического поля до значения $E$ = 10$^6$ V/m. Нелинейность зависимости удельной электрической проводимости синтезированных пленок от величины напряженности электрического поля при $E>$ 10$^6$ V/m обсуждена в рамках модели прыжковой проводимости и модели ионизации ловушек, описываемой эффектом Пула–Френкеля.

Ключевые слова: оксидные полупроводники, коэффициент оптического поглощения, электропроводность, сильные электрические поля.

Поступила в редакцию: 10.11.2021
Исправленный вариант: 17.03.2022
Принята в печать: 18.03.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.06.52521.288-21



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025