Формирование неоднородных оксидных и субоксидных слоев на ультратонкой металлической пленке при многократном окислении и ионном распылении

Представлена технология контролируемого формирования многослойных оксидных и субоксидных слоев на тонкой металлической пленке. Продемонстрирована возможность контролируемого создания пленок с ультратонким субоксидным слоем внутри слоя высшего оксида и пленок, представляющих собой периодическую структуру с чередованием оксидных слоев с разной степенью окисления. Получена структура с чередованием ультратонких слоев из высшего оксида и субоксидных слоев на ниобиевой пленке.