RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2022, том 92, выпуск 9, страницы 1467–1470 (Mi jtf7450)

Физические приборы и методы эксперимента

Метод регистрации потенциала зарядки диэлектриков при ионном облучении по сдвигу границы тормозного рентгеновского спектра

А. А. Татаринцевa, Н. А. Орликовскийb, Н. Г. Орликовскаяa, К. Е. Озероваa, Я. Э. Шаховаb

a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Сколковский институт науки и технологий, AICF, 121205 Москва, Россия

Аннотация: Предложен метод измерения высоковольтных потенциалов по сдвигу границы тормозного рентгеновского спектра при зарядке диэлектриков ионами. При облучении ионами Xe$^+$ для генерации мягкого тормозного рентгеновского излучения предложено использовать зондирующий пучок электронов. Для нивелирования эффекта компенсации заряда на поверхности подобрана величина тока зондирующего пучка электронов. Получены значения равновесных потенциалов зарядки типичных изоляторов (Al$_2$O$_3$-керамика, Al$_2$O$_3$ (сапфир), SiO$_2$ и тефлон) при разных энергиях облучения ионами. Проведено сравнение полученных данных с результатами спектрометрических исследований.

Ключевые слова: зарядка диэлектриков, ионное облучение, ФИП-СЭМ, измерение потенциала поверхности.

Поступила в редакцию: 01.04.2022
Исправленный вариант: 19.05.2022
Принята в печать: 21.05.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.09.52940.81-22



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025