RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2022, том 92, выпуск 10, страницы 1611–1616 (Mi jtf7465)

Физическая электроника

Зависимость энергии отдачи от кристаллографических направлений при бомбардировке монокристалла медленными ионами

В. В. Евстифеев, Н. В. Костина

Пензенский государственный университет, 440026 Пенза, Россия

Аннотация: Методом молекулярной динамики с использованием дальнодействующего потенциала взаимодействия проведены расчеты энергии отдачи при бомбардировке поверхностной грани (001) монокристалла ванадия ионами K$^+$ ($E_0$ = 10–50 eV) с начальными траекториями движения, лежащими в плоскостях, перпендикулярных плоскости (001) и параллельных плоскостям (100) и $(1\bar10)$, проходящим вдоль кристаллографических направлений [010] и [110] соответственно. Обнаружена анизотропия передачи максимальной энергии одному из группы (3–5) атомов, одновременно участвующих во взаимодействии, в зависимости от траектории движения иона. Установлены энергетические пороги распыления для указанных направлений.

Ключевые слова: ионная бомбардировка, монокристалл, кристаллографические направления, энергия отдачи, пороги распыления.

Поступила в редакцию: 11.03.2022
Исправленный вариант: 18.05.2022
Принята в печать: 28.05.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.10.53254.51-22



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025