А. И. Сидоров, Е. Я. Лекс, О. А. Подсвиров, А. Я. Виноградов, “Кристаллизация и формирование карбида кремния в двухслойных аморфных пленках кремний-углерод при электронном облучении”, ЖТФ, 2022, том 92, выпуск 11,страницы 1705

Физическое материаловедение

Кристаллизация и формирование карбида кремния в двухслойных аморфных пленках кремний-углерод при электронном облучении

А. И. Сидоров^a, Е. Я. Лекс^b, О. А. Подсвиров^b, А. Я. Виноградов^c

^a Университет ИТМО, 199034 Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 Санкт-Петербург, Россия
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Показано, что облучение сфокусированным электронным лучом с энергией электронов 10 keV двухслойных аморфных пленок кремний-углерод толщиной 60 nm приводит к частичной кристаллизации пленок. Кроме того, в облученной зоне формируется слой кристаллического карбида кремния, обладающий люминесцентными свойствами. Наблюдаемые явления подтверждены методами спектроскопии комбинационного рассеяния и спектрами люминесценции.

Ключевые слова: кремний, углерод, карбид кремния, пленка, структура, электронный луч, рамановская спектроскопия.

Поступила в редакцию: 06.07.2022
Исправленный вариант: 02.08.2022
Принята в печать: 09.08.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.11.53444.180-22