Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами

Исследованы топография и состав поверхности сплавов на основе никеля при облучении кластерными ионами Ar$_{2500}^+$ с энергией 20 keV и атомарными ионами Ar$^+$ с энергией 3 keV. Экспериментально обнаружено обеднение поверхности сплавов компонентом с меньшей энергией связи. Показано, что изменение поверхностных концентраций компонентов сплавов при облучении кластерными ионами на порядок больше, чем при распылении атомарными ионами. Степень изменения состава поверхности определена соотношением коэффициентов распыления компонентов сплава.