RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 95, выпуск 3, страницы 598–605 (Mi jtf7530)

Специальный выпуск по материалам Международной конференции "Наноуглерод и Алмаз" (НиА'2024)
Физическая электроника

Анализ поверхности поликристаллического CVD-алмаза после статической термохимической обработки

А. В. Лебеденкоab, И. В. Клепиковabc, Е. Н. Куликовd, А. В. Дерябкинd, Ю. Ю. Федоровd, В. А. Шепелевb, А. А. Алтуховb

a Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия
b МИРЭА — Российский технологический университет, 125993 Москва, Россия
c Научно-производственный комплекс "Алмаз", 197706 Сестрорецк, Санкт-Петербург, Россия
d Государственное научно-производственное предприятие "Исток", 141190 Фрязино, Московская обл., Россия

Аннотация: Представлен комплексный анализ поверхности поликристаллического CVD-алмаза после его статической термохимической обработки. Исследование сфокусировано на тонких изменениях в морфологии и шероховатости поверхности алмаза до и после обработки. Для проведения анализа использованы методы оптической, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, что позволило детально охарактеризовать как макроскопические, так и микроскопические изменения. Результаты показали снижение параметров шероховатости поверхности, существенное изменение рельефа и скульптур на поверхности алмаза, что свидетельствует об эффективности термохимической обработки такого сложного материала, как поликристаллический алмаз.

Ключевые слова: CVD-алмаз, поликристаллический алмаз, поликристалл, шероховатость поверхности, метод термохимической обработки, термохимическая обработка.

Поступила в редакцию: 18.10.2024
Исправленный вариант: 18.10.2024
Принята в печать: 18.10.2024

DOI: 10.61011/JTF.2025.03.59867.322-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025