Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ-алмазных подложек: анализ поверхности

Рассмотрены результаты обработки монокристаллических НРНТ-алмазных подложек методом термохимической полировки. Основное применение данного метода – доведение поверхности механически полированных алмазных подложек до состояния, близкого к атомарно гладкому. С помощью метода оптической профилометрии впервые получены результаты исследования всей площади поверхности (4 $\times$ 4 mm) алмазных подложек высокого качества. Показано, что термохимическая полировка может значительно улучшить морфологические характеристики алмазных подложек вплоть до того, что на 80–90% их площади перепады высот составляют менее 200 nm. Данные, полученные с помощью метода атомно-силовой микроскопии, свидетельствуют о снижении шероховатости поверхности до уровня $Ra$ (0.5–0.7) nm. В процессе полировки также формируются углубления различной величины и глубины, распределенные неравномерно; с увеличением однородности поверхности их количество может увеличиваться. Результаты исследования демонстрируют значительные перспективы термохимической полировки алмазных подложек для их промышленного применения в высокотехнологичных областях микроэлектроники и микромеханики, требующих плоских поверхностей с минимальной шероховатостью.