RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 95, выпуск 3, страницы 615–621 (Mi jtf7532)

Специальный выпуск по материалам Международной конференции "Наноуглерод и Алмаз" (НиА'2024)
Физическая электроника

Модификация структурных свойств тонких пленок ниобия при гидрировании

Ю. А. Саламатов, Д. И. Девятериков, М. В. Макарова, В. В. Матюхов, Ю. С. Поносов, В. В. Проглядо, Е. А. Толмачёва, Е. А. Кравцов

Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН, 620108 Екатеринбург, Россия

Аннотация: Установлены связи между концентрацией водорода, поглощенного в тонких пленках ниобия типа Al$_2$O$_3$//Nb, и структурными свойствами этих пленок. Основными методами исследования являлись рентгеновская дифракция и рефлектометрия. Проанализированы структурные изменения после процессов гидрирования при различных температурах. Определены условия гидрирования, при которых происходит образование твердых растворов водорода в ниобии и/или гидридов ниобия. Показано, что дополнительно управлять концентрацией водорода в ниобии можно, нанося на поверхность пленки слой графена, получая систему типа Al$_2$O$_3$//Nb/Gr. Являясь своего рода “антикаталитическим слоем”, графен существенно замедляет проникновение водорода в образец, что дает возможность получать необходимые концентрации с высокой точностью.

Ключевые слова: рентгеновская дифрактометрия, рентгеновская рефлектометрия, графен, химическое осаждение из газовой фазы, гидриды ниобия, рамановская спектроскопия.

Поступила в редакцию: 25.10.2024
Исправленный вариант: 25.10.2024
Принята в печать: 25.10.2024

DOI: 10.61011/JTF.2025.03.59869.360-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025