Кинетика формирования силицидных фаз в тонкопленочной системе Yb-Si(111)

Исследованы процессы формирования и физико-химические свойства силицидов иттербия в пленочной системе Yb-Si(111). Показано, что переход от металлического иттербия к силицидным пленкам со стехиометрией Yb$_5$Si$_3$, YbSi и YbSi$_{2-x}$ происходит при достижении температуры 400, 470 и 600 K соответственно. Пленка YbSi$_{2-x}$ имеет упорядоченную структуру (1 $\times$ 1) и сохраняется на поверхности кремния в интервале 600–1000 K. Определена работа выхода и валентное состояние атомов иттербия в силицидных пленках. Установлена оптимальная температура формирования пленки дисилицида иттербия эпитаксиального качества на исследованной поверхности Si(111).