Аннотация:
Показано, что с помощью изменения параметров облучения импульсным наносекундным иттербиевым волоконным лазером можно влиять на информационно-корреляционные, фрактальные и оптические свойства поверхности пленок пористого кремния. С помощью анализа спектров отражения и комбинационного рассеяния света установлена взаимосвязь между параметрами лазерного облучения пористых пленок и их оптическими характеристиками. Исследуемые полупроводниковые структуры могут быть актуальны для создания антиотражающих слоев кремниевых солнечных элементов, а также химических датчиков.