RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 59, выпуск 6, страницы 1208–1215 (Mi jtf7601)

Физическая электроника

Оптические свойства пористого кремния, облученного наносекундным иттербиевым лазером

Н. В. Рыбинаa, Н. Б. Рыбинa, В. С. Хиловb, В. В. Трегуловb, А. И. Ивановb, К. О. Айыыжыc, Н. Н. Мельникd

a Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина, 390005 Рязань, Россия
b Рязанский государственный университет имени С. А. Есенина, 390000 Рязань, Россия
c Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, 119991 Москва, Россия
d Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия

Аннотация: Показано, что с помощью изменения параметров облучения импульсным наносекундным иттербиевым волоконным лазером можно влиять на информационно-корреляционные, фрактальные и оптические свойства поверхности пленок пористого кремния. С помощью анализа спектров отражения и комбинационного рассеяния света установлена взаимосвязь между параметрами лазерного облучения пористых пленок и их оптическими характеристиками. Исследуемые полупроводниковые структуры могут быть актуальны для создания антиотражающих слоев кремниевых солнечных элементов, а также химических датчиков.

Ключевые слова: пористый кремний, наносекундные лазерные импульсы, морфология, взаимная информация, фрактальный анализ, комбинационное рассеяние света, спектры отражения поверхности.

Поступила в редакцию: 27.12.2024
Исправленный вариант: 07.02.2025
Принята в печать: 14.02.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.06.60472.472-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025