Аннотация:
Представлена технология создания углеродных преобразующих элементов для молекулярно-электронных датчиков движения с применением трафаретной печати и лазерной микрообработки. Изготовлена партия образцов преобразующих элементов с плоским и цилиндрическим каналами с различными значениями толщины рабочего канала: от 36 до 400 $\mu$m и различным расстоянием между электродами от 55 до 270 $\mu$m. Изготовлены сейсмические датчики с использованием изготовленных образцов, проведены исследования их частотных характеристик и установлены конфигурации, обеспечивающие максимальное значение коэффициента преобразования. Для исследованного диапазона геометрических характеристик коэффициент преобразования оказывается тем выше, чем тоньше канал, в котором происходит преобразование сигнала, при этом для расстояния между электродами имеется оптимальное значение, соответствующее наибольшему значению коэффициента преобразования.
Ключевые слова:
сейсмические датчики, электрохимические системы, микрофлюидика, микроструктуры, углеродные электроды.
Поступила в редакцию: 26.10.2024 Исправленный вариант: 27.03.2025 Принята в печать: 06.05.2025