Формирование золотых контактных площадок к сверхпроводящим пленкам методом лазерной абляции

Представлены исследования формирования золотых контактных площадок методом лазерной абляции на диэлектрических подложках. Механические и электропроводящие свойства контактной площадки позволяют обеспечить надежный электрический контакт сверхпроводящих YBCO-пленок и структур на их основе с электронной навеской. Контактная площадка формируется на подложке перед напылением сверхпроводящей пленки. Высокая адгезия контактной площадки достигается за счет глубокого внедрения частиц лазерной плазмы в материал подложки.