Краткие сообщения

Резкие профили примеси в структурах кремния, выращенных из молекулярного пучка в вакууме

А. Ю. Андреев, В. П. Кузнецов, В. А. Толомасов

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского

УДК: 539.23 : 546.28

Поступила в редакцию: 19.06.1986

Реферативные базы данных:

•