Субмикронный источник свободных электронов

Использован оригинальный способ изготовления многоострийных микрокатодов, в основе которого лежит трековая мембранная технология. Достигнуты воспроизводимые геометрические параметры микрокатодов с диаметрами острий 20–40 nm. Режим автоэлектронной эмиссии возникает при таких диаметрах катода при разности потенциалов 100–300 V. В диодном и триодном вариантах применения таких структур возможно достичь быстродействия $\sim$ 10$^{12}$ s. В экспериментальных образцах плотность острий составляла $\sim$ 10$^6$ /cm$^2$, что по расчетам может обеспечить технически значимые токи автоэмиссии. Предложенная технология создания многоострийных микрокатодов достаточно проста, что позволило в лабораторных условиях получить образцы площадью десятки квадратных сантиметров. По такой же технологии на специальном оборудовании можно производить сотни квадратных метров многоострийных эмиттеров.