Влияние остаточного давления и ионной имплантации на структуру, элементный состав и свойства нитридов (TiZrAlYNb)N

Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, энерго-дисперсионного анализа, лазерной сканирующей микроскопии, рентгено-дифракционного анализа, времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии, измерений твердости исследованы нитриды высокоэнтропийных сплавов (TiZrAlYNb)N, полученные при помощи вакуумно-дугового испарения катода. Обнаружено влияние параметров осаждения на структуру, морфологию поверхности, распределение элементов и механические свойства. Также проведено сравнение структурно-фазового состояния исследуемых покрытий до и после ионной имплантации тяжелыми отрицательными ионами золота Au$^-$.