Волноводная спектроскопия двухслойных структур

Предложен метод наименьших квадратов для восстановления оптических параметров двухслойных структур, в котором целевая функция строится с использованием экспериментальных и расчетных данных для отражательной способности призмы связи. Выполнены исследования структуры, состоящей из двух различных пленок оксинитрида кремния, нанесенных на кремниевую подложку. Оценено влияние рассеяния света на решение обратной задачи.