Аннотация:
Разработана методика расчета параметров плазмы
высокочастотного емкостного разряда по экспериментально определяемым
электрическим характеристикам. Показано, что вольт-амперная характеристика
(ВАХ) ВЧ разряда в воздухе имеет падающий характер. По измеренной с помощью
СВЧ интерферометра концентрации электронов определена электронная
проводимость плазмы. Полная проводимость плазмы, рассчитанная из ВАХ, при малых
плотностях тока превосходит электронную. Определенная по разности проводимостей
концентрация отрицательных ионов достигает значений
$10^{11}\,\text{см}^{-3}$ и более, что на 2 порядка превосходит концентрацию
электронов. Проведен расчет ВАХ из уравнений электронной и ионной кинетики
с учетом процессов отлипания электронов от отрицательных ионов.
Удовлетворительное совпадение расчетов с экспериментами подтверждает
существенную роль отлипания в балансе частиц в плазме ВЧ разряда.
Обнаруженные в ряде режимов колебания электронной концентрации
и интенсивности свечения плазмы не приводят к переходу емкостного ВЧ
разряда в контрагированную форму.
УДК:
537.523.74
Поступила в редакцию: 24.01.1986 Исправленный вариант: 10.09.1986