Исследование структуры, эмиссионных и пьезоэлектрических свойств пленок ZnS, ZnS–ZnO и ZnO, полученных химическим методом

Пленки сульфида и оксида цинка получены пиролизом металлоорганических соединений. Исследованы фазовый состав, структура, топография поверхности, оптические и пьезоэлектрические свойства пленок, полученных в различных технологических условиях. Состав пленок зависит от степени очистки прекурсора, температуры подложки (при увеличении изменяется от ZnS до ZnO), скорости напыления (при увеличении изменяется от ZnO до ZnS) и отжига при 600$^\circ$C (трансформируются в ZnO). В пленках ZnS, обладающих наиболее совершенной кристаллической структурой, полученных из прекурсора с максимальной степенью очистки, впервые наблюдалась интенсивная краевая люминесценция (3.64 eV) при комнатной температуре. Двухфазные пленки ZnS–ZnO, полученные из недорогого прекурсора общего назначения, характеризуются выраженными пьезоэлектрическими свойствами и могут быть использованы для разработки пьезо- и акустоэлектронных устройств различного назначения.