Аннотация:
Исследованы особенности морфологии, состава и оптических свойств пористого кремния, полученного на подложках монокристаллического кремния, а также $p$–$n$-переходах. Для получения нано-, мезо- и макропористого кремния, а также многослойных пористых структур варьировались ориентация подложки, тип проводимости и состав травителя. Обнаружена корреляция между интенсивностью фотолюминесценции образцов и интенсивностью полосы поглощения их ИК-спектров (616 см$^{-1}$), обусловленной наличием связей Si–Si.