Формулы для оценки параметров положительного столба тлеющего разряда в электроотрицательных газах при конечных ионных температурах

В простейшем предположении о постоянстве скоростей плазмохимических процессов на примере плазмы положительного столба электроотрицательного разряда низкого и среднего давлений для случая отлипания нейтральными частицами получены явные, достаточно простые и в то же время приемлемо точные аналитические соотношения, позволяющие быстро оценить геометрические параметры пространственных распределений концентраций заряженных частиц в названной плазме, а также ее энергетические параметры, не прибегая к численному моделированию. Новым является учет конечности ионных температур и наличия ионной диффузии. Показано, что поперечное расслоение электроотрицательной плазмы на области с разным ионным составом является следствием неизотермичности плазмы.