Оптические, структурные и фотокаталитические свойства наноразмерных пленок диоксида титана, осажденных в плазме магнетронного разряда

Найдены и описаны условия оптимального и контролируемого осаждения нанослоев диоксида титана в плазме цилиндрического газового разряда магнетронного типа специальной конструкции. Характеризация полученных пленок методом рамановской спектроскопии позволила определить режимы осаждения аморфной и поликристаллической фаз диоксида титана. Пленки, синтезированные путем осаждения на холодную подложку, находятся в аморфной фазе, а на подогретую – в фазе поликристаллического анатаза. Установлены особенности в эволюции спектральных линий излучения аргона, кислорода, титана и падения разрядного напряжения от величины и направления изменения тока разряда. Показана применимость полученных результатов для бесконтактного оптического мониторинга. Характеризация пленок показывает существование нелинейной зависимости показателя преломления от толщины слоя и возможность получения слоев с высокой фотокаталитической активностью, пригодных для очистки окружающей среды от неорганических загрязнителей.