Интерферометрия, объединяющая процедуры измерения и контроля клиновидности прозрачных пластин

Предложены различные варианты и схемы реализации интерференционного метода, позволяющего объединить процедуры измерения и контроля параметров фазовых объектов, для случая измерительного контроля прозрачных клиновидных пластин. Приведены результаты экспериментального опробования предложенных вариантов реализации измерительного контроля для стеклянных клиновидных пластин.