Электронное зеркало как корректор аберраций объектива электронного микроскопа

Описана новая электронно-оптическая система коррекции аберраций объективной линзы с помощью электронного зеркала. Система основана на реализации специального режима фокусировки – так называемого режима наложенных изображений, при котором в плоскости, проходящей через центр кривизны электронного зеркала, формируются два изображения объекта: одно из них образовано исходящими от объективной линзы лучами – с аберрациями, второе образовано отраженными от зеркала лучами – с устраненными аберрациями. Разделение двух наложенных изображений и визуализация очищенного от аберраций изображения осуществляется путем отклонения электронного пучка в осесимметричном магнитном поле, ось симметрии которого проходит через центр кривизны электронного зеркала. Рассчитано распределение магнитного поля, обеспечивающее безаберрационное отклонение электронного пучка.