RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2014, том 84, выпуск 7, страницы 62–66 (Mi jtf8138)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физическое материаловедение

Способ формирования графеновых пленок

Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин, Г. С. Рычков, О. А. Сахаров, З. М. Хамдохов, Э. З. Хамдохов, Е. С. Чернявская, М. Л. Шупегин, А. А. Щекин

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф. В. Лукина, 124460 Зеленоград, Москва, Россия

Аннотация: В настоящей статье предлагается и исследуется метод формирования графеновых пленок посредством термодиффузии атомов углерода из аморфной углеродной либо кремний-углеродной пленок наноразмерной толщины сквозь пленку катализатора, их накопления на границе раздела каталитический слой/барьерный слой с последующей организацией фазового перехода углеродная “квазижидкость” –графен. Одним из преимуществ такого способа изготовления пленок графена является возможность их формирования непосредственно на диэлектрическом слое и последующего вывешивания ее с помощью мембранных технологий над поверхностью подложки, что исключает необходимость в использовании сложных процедур отделения графеновой пленки от подложки.

Поступила в редакцию: 04.07.2013


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:7, 1007–1011

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025