Аннотация:
В настоящей статье предлагается и исследуется метод формирования графеновых пленок посредством термодиффузии атомов углерода из аморфной углеродной либо кремний-углеродной пленок наноразмерной толщины сквозь пленку катализатора, их накопления на границе раздела каталитический слой/барьерный слой с последующей организацией фазового перехода углеродная “квазижидкость” –графен. Одним из преимуществ такого способа изготовления пленок графена является возможность их формирования непосредственно на диэлектрическом слое и последующего вывешивания ее с помощью мембранных технологий над поверхностью подложки, что исключает необходимость в использовании сложных процедур отделения графеновой пленки от подложки.