Применение импульсного магнетронного распыления для получения покрытий системы AIN–TiB$_2$–TiSi$_2$

Импульсным магнетронным распылением получены покрытия из композиционной керамики AlN–TiB$_2$ с добавкой TiSi$_2$. Размер областей упорядочения после осаждения покрытия составил порядка 1 nm, что относит структурное состояние к аморфноподобному. Отжиги при температурах 900 и 1300$^\circ$C сопровождались кристаллизацией с размерами кристаллитов 11 и 25 nm соответственно. Кристаллизация, однако, не приводит к резкому ухудшению механических свойств благодаря образованию фаз с высокой энтальпией (AlB$_2$ при 900$^\circ$C и AlB$_2$ и Al$_2$O$_3$ при 1300$^\circ$C). Твердость покрытия при этом изменялась от 15.1 GPa в исходном состоянии до 11 GPa после отжига в 1300$^\circ$C, что позволило повысить стойкость к износу лезвийного инструмента с такими покрытиями до 1.32 раза при температуре в зоне контакта 1300$^\circ$C.