Спектральная интерференция в карбидокремниевой $n^-$–$n^+$-структуре

Продемонстрировано наблюдение спектральной интерференции в карбидокремниевой структуре, в которой эпитаксиальный слой и подложка отличаются только мнимой частью показателя преломления. Результаты определения толщины слоя по периоду интерференции проконтролированы непосредственным измерением толщины слоя при помощи растровой электронной микроскопии. Спектральная зависимость вещественной части показателя преломления карбида кремния дополнена диапазоном длин волн 1.5–7 $\mu$m.