Простые аналитические формулы для оценки параметров положительного столба электроотрицательного тлеющего разряда при наличии галогенов в составе газовой смеси

В простом предположении о независимости от координат скоростей плазмохимических процессов проведен асимптотический анализ уравнений непрерывности для плазмы положительного столба электроотрицательного разряда постоянного тока низкого и среднего давлений. Новым является детальный учет наличия ионной диффузии для случая доминирования ион-ионной рекомбинации среди механизмов гибели отрицательных ионов. Полученные несложные аналитические выражения позволили с точностью не хуже 15–25% оценить геометрические параметры пространственных распределений концентраций заряженных частиц в названной плазме, а также ее энергетические параметры, не прибегая к сложному численному моделированию.